Univerzita Pardubice Fakulta chemicko- technologická

Univerzita Pardubice

Zaměstnanci
|
Studenti
English

Publikace detail

Atomic Layer Deposition (ALD) workshop

Autoři: Macák Jan

Rok: 2016

Druh publikace: konference, workshop, výstava

Strana od-do: nestránkováno

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Workshop „Depozice atomárních vrstev: princip, možnosti, aplikace	Cílem workshopu je seznámit širokou odbornou veřejnost s možnostmi techniky pro depozice atomárních vrstev, které umožňuje deponovat širokou paletu materiálů (oxidy, sulfidy, nitridy, selenidy, kovy, atd.) na různé substráty.	depozice atomárních vrstev; tenké vrstvy; nanomateriály
eng	Atomic Layer Deposition (ALD) workshop	The goal of the workshop is to introduce Atomic Layer Deposition technique and its abilities to the audience. The technique enables deposition a wide range of materials (oxides, sulphides, nitrides, selenides, metals,etc.) on various substrates.	atomic layer deposition; thin layers; nanomaterials