Publikace detail

Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers

Autoři: Ohlidal Ivan | Vohanka Jiri | Mistrík Jan | Cermak Martin | Franta Daniel

Rok: 2018

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Surface and Interface Analysis

Název nakladatele: John Wiley & Sons Ltd.

Místo vydání: Chichester

Strana od-do: 1230-1233

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Různé teoretické přístupy při optické charakterizaci náhodně drsných křemíkový povrchů pokrytý nativní oxidovou vrstvou	Výsledky optické charakteristiky náhodně drsných křemíkových povrchů pokrytých přirozenými Oxidové vrstvy založené na zpracování experimentálních dat získaných ellipsometrií a reflexometrií jsou prezentovány. Ukazuje se, že Rayleigh-Riceova teorie je vhodným teoretickým přístupem pro charakterizující mikrostruktury povrchu v protikladu k efektivní aproximaci médií. Kombinace teorie Rayleigh-Rice a skalární difrakční teorie je efektivní a spolehlivý přístup pro charakterizaci hrubších povrchů s efektivními hodnotami výšky větší než 10 nm. Tloušťka nativní vrstvy oxidu a parametry drsnosti, tj. hodnoty efektivnosti výšky a autokorelace délky, jsou určeny pro drsné a hrubší povrchy pomocí odpovídajících teoretických přístupů.	drsnost; optická charakterizace; Si povrch; nativní povrchová vrstva
eng	Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers	Results of the optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers based on processing experimental data obtained by ellipsometry and reflectometry are presented. It is shown that the Rayleigh-Rice theory is suitable theoretical approach for characterizing micro-rough surfaces in contrast to effective medium approximation. Combination of the Rayleigh-Rice theory and scalar diffraction theory is efficient and reliable approach for characterizing rougher surfaces with the rms values of heights larger than 10 nm. Thickness of native oxide layers and roughness parameters, ie, the rms values of heights and autocorrelation lengths, are determined for micro-rough and rougher surfaces using the corresponding theoretical approaches.	native oxide layers; optical characterization; roughness; silicon surfaces

Search

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte