Publikace detail

Design of a Multimode Interferometer-Based Mid-Infrared Multispecies Gas Sensor

Rok: 2020

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: IEEE Sensors Journal

Název nakladatele: IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)

Místo vydání: New York

Strana od-do: 13426-13435

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Design multimódového plynového senzoru na bázi interferometru pro střední infračervenou oblast spektra	Je navržen dělič svazku multimódového interferometru na bázi chalkogenidových vlnovodů emitujících ve střední infračervené oblasti spektra. Toto zařízení násobí infračervené světlo ve dvou kanálech, jejichž pásy se překrývají s absorpčními pásy CO2 nebo CO mezi 4.20-4.32 a 4.50-4.86 mikrometry. Jsou určeny tolerance k odchylkám od optimálního designu zařízení, které vznikají z procesních podmínek (příprava materiálů a naprašování, fotolitografie a suché leptání). Spektrální propustnost je obzvláště zkoumána jako funkce odchylek indexu lomu deponovaných vrstev a rozměrů multimódové části (šířka a délka) od hodnot návrhu.	amorfní chalkogenidy; tenké vrstvy; senzor; fotonika
eng	Design of a Multimode Interferometer-Based Mid-Infrared Multispecies Gas Sensor	A multimode interferometer beam splitter based on mid-infrared emitting chalcogenides waveguides is designed. This device multiplexes infrared light in two channels whose respective bands overlap either CO2 or CO absorption bands, respectively between 4.20-4.32 and 4.50-4.86 micrometer. Tolerances to variations from the optimum device design resulting from processing conditions (materials fabrication and sputtering, photolithography and dry etching) are assessed. In particular, the spectral transmission is investigated as a function of deposited film refractive index and multimode section dimensions (width and length) deviation from designed values.	Amorphous chalcogenides; thin films; sensor; photonics

Vyhledávání

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte