Publikace detail
Correlation between mechanical, optical and chemical properties of thin films deposited by PECVD
Autoři:
Čech | Studýnka | Čechalová | Mistrík Jan | Zemek
Rok: 2008
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Surface and Coatings Technology
Název nakladatele: Elsevier Science SA
Místo vydání: Lausanne
Strana od-do: 5572-5575