Publikace detail

Direct fabrication of surface relief gratings in chalcogenide glasses by excimer laser interference lithography

Autoři: Vlček Miroslav | Schroeter S. | Brueckner S. | Fehling S. | Fišerová A.

Rok: 2009

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Journal of Materials Science: Materials in Electronics

Název nakladatele: Springer

Strana od-do: 290-293

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Přímá tvorba povrchových reliéfních difrakčních mřížek v chalkogenidových sklech interferenční litografií s excimerovým laserem	V práci se řeší možnost realizace povrchových reliéfních mřížek v tenkých vrstvách chalkogenidových skel pomocí holografické expozice pulzním KrF excimerovým laserem. Na povrchu 1 mikron tlustých vrstev byly vytvořeny mřížky s periodou 540 nm a hloubkou 100 - 300 nm.	reliefní mřížka;chalkogenidové sklo;litografie
eng	Direct fabrication of surface relief gratings in chalcogenide glasses by excimer laser interference lithography	In this paper we study the possibility to realise surface relief gratings in thin chalcogenide glass films by holographic exposure using a pulsed KrF excimer laser. Gratings with a period of 540 nm and depths of 100 -300 nm were patterned at the surface of 1 lm thick films. Due to coupling of an incident near-infrared laser beam to waveguide modes a resonance-like polarisation dependent decline of transmission was observed at specific incidence angles. Just one laser pulse with a fluence of 12 mJ/cm2 per beam was sufficient to achieve the required grating parameters in sulphide glasses with low Tg.	relief grating;chalcogenide glass;lithography

Vyhledávání