Publikace detail

Plasma diagnostics in pulsed laser deposition of GaLaS chalcogenides

Rok: 2013

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Applied Surface Science

Název nakladatele: Elsevier Science BV

Místo vydání: Amsterdam

Strana od-do: 352-356

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Diagnostika plazmatu při pulzní laserové depozici chalkogenidů GaLaS	Cílem této práce je charakterizovat plazma vznikající při laserové ablati vzorků GaLaS (GLS) za účelem lepšího pochopení ablačních dějů pro optimalizaci pulzní laserové depozice chalkogenidových tenkých vrstev. Dynamika plazmatu mezi materiálem terče a substrátem byla studována pomocí časoprostorově rozlišené optické emisní spektroskopie. Optická spektra s vysokým rozlišením byla zaznamenána v UV-VIS oblasti za použití monochromátoru s ohniskovou vzdáleností 500 mm a rychlé ICCD kamery. Z časoprostorových závislostí optického signálu byly určeny rychlosti různých částic (včetně neutrálů a iontů). Použitím metody relativních intenzit byly určeny časoprostorové závislosti excitační teploty and elektronové hustoty. Bylo popsáno komplexní chování plazmatu v průběhu laserové ablace.	pulzní laserová depozice; dynamika plazmatu; optická emisní spektroskopie; chalkogenidy
eng	Plasma diagnostics in pulsed laser deposition of GaLaS chalcogenides	The aim of this work is to characterize the ejection plume obtained by laser ablation of GaLaS (GLS) samples in order to better understand the ablation phenomena for optimizing the pulsed laser deposition of chalcogenide thin films. The dynamics of the plasma between target and substrate was investigated through time-and space-resolved optical emission spectroscopy. High-resolution optical spectra have been recorded in the UV-VIS range using a 500-mm focal length monochromator and a fast gate ICCD camera. From the space-time evolution of the optical signals, the velocities of various species (including neutrals and ions) have been derived. Using the relative intensity method, the space-and time-evolution of the excitation temperature and electronic density have been determined. A complex behavior of the laser ablation plasma has been revealed.	pulsed laser deposition; plasma dynamics; optical emission spectroscopy; chalcogenides

Vyhledávání

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte