Publikace detail

Selenide sputtered films development for MIR environmental sensor

Rok: 2016

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Optical Materials Express

Název nakladatele: Optical Society of America

Místo vydání: Washington, DC

Strana od-do: 2616-2627

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Vývoj naprašovaných selenidových vrstev pro environmentální senzor ve střední infračervené oblasti spektra	Byl navržen a připraven mikrosenzor pro detekci evanescentních vln ve střední infračervené oblasti spektra založený na selenidových sklech. Tenké vrstvy Ge-Sb-Se byly úspěšně deponovány radiofrekvenčním magnetronovým naprašováním. Za účelem studia indexu lomu v blízké a střední infračervené oblasti spektra, drsnosti povrchu a smáčivosti byly vrstvy charakterizovány spektroskopickou elipsometrií, mikroskopií atomárních sil a měřením kontaktního úhlu. Selenidové naprašované vrstvy byly mikrovzorovány reaktivním iontovým leptáním s indukčně vázaným plazmatem.	optické vlnovody; tenké vrstvy; chakogenidová skla; senzor
eng	Selenide sputtered films development for MIR environmental sensor	A micro-sensor based on selenide glasses for evanescent wave detection in mid-infrared spectral range was designed and fabricated. Ge-Sb-Se thin films were successfully deposited by radio-frequency magnetron sputtering. In order to characterize them spectroscopic ellipsometry, atomic force microscopy and contact angle measurements were employed to study near and middle infrared refractive index, surface roughness and the wettability, respectively. Selenide sputtered films were micro-patterned by means of reactive ion etching with inductively coupled plasma process enabling single-mode propagation at a wavelength of 7.7 mu m for a waveguide width between 8 and 12 mu m. Finally, optical waveguide surface was functionalized by deposition of a hydrophobic polymer, which will permit detection of organic molecules in water. Thus, the optical transducer is a ridge waveguide composed by cladding and guiding Ge-Sb-Se sputtered layers exhibiting a tailored refractive index contrast and a polymer layer onto its surface ready for environmental detections in middle infrared	optical waveguides; thin films; chalcogenide glasses; sensor

Vyhledávání

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte