Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

CHARAKTERIZACE VLASTNOSTÍ A STRUKTURY TENKÝCH VRSTEV As40S60 PŘIPRAVENÝCH METODOU SPIN-COATINGU
Rok: 2014
Druh publikace: článek ve sborníku
Název zdroje: Sborník příspěvků Studentská vědecká odborná činnost 2013/2014
Název nakladatele: Univerzita Pardubice
Místo vydání: Pardubice
Strana od-do: 189-194
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze CHARAKTERIZACE VLASTNOSTÍ A STRUKTURY TENKÝCH VRSTEV As40S60 PŘIPRAVENÝCH METODOU SPIN-COATINGU Tenké vrstvy chalkogenidového skla As40S60 byly deponovány metodou spin-coatingu a vakuového napařování. Bylo prokázáno, že s rostoucí koncentrací rozpuštěného objemového skla v roztoku roste i tloušťka tenkých vrstev připravených metodou spin-coatingu. Následnou temperací těchto vrstev dochází k jejich významnému ztenčování. Dochází pravděpodobně k uvolňování chemicky vázaného rozpouštědla a dalším tepelně indukovaným změnám struktury. Tyto změny se projevují na transmisních spektrech vrstev posunem spektrální pozice krátkovlnné absorpční hrany a postupným vyvíjením interferenčních extrémů. Indexy lomu tenké vrstvy As40S60 deponované metodou spin-coatingu je výrazně nižší než index lomu tenké vrstvy stejného složení deponované vakuovým napařováním, přičemž s rostoucí teplotou temperace spin-coatingem připravených vrstev se rozdíl v indexu lomu snižuje. Metoda Ramanovy spektroskopie prokázala, že struktura tenkých vrstev deponovaných metodou spin-coatingu je velmi podobná struktuře výchozího objemového skla. Naopak vakuovým napařováním dochází ke vzniku odlišné a velmi neuspořádané struktury. Tepelně indukované změny topografie povrchu spin-coatingem připravených vrstev byly sledovány metodou mikroskopie atomárních sil. S rostoucí teplotou temperace dochází k postupnému vrásnění jejich povrchu a uzavírání pórů. Tyto změny pak mohou mít v krajním případě negativní vliv na optickou kvalitu temperovaných tenkých vrstev. tenké vrstvy; spin coating
eng Characterisation of the properties and structure of thin films As40S60 prepared using spin-coating Thin layers of glass chalkogenidového As40S60 were deposited by spin-coating and vacuum evaporation. It was demonstrated that with increasing concentration of the dissolved bulk Glass in solution increases the thickness of thin films prepared by spin-coating. Subsequent annealing of these layers leads to their significant thinning. there probably the release of chemically bound solvents and other thermally induced structural changes. These changes are reflected to the transmission spectra of the layers of the spectral shift position short wavelength absorption edges and gradually developing the interference extremes. The refractive indices As40S60 thin layers deposited by spin-coating is significantly lower than the refractive index a thin layer of the same composition deposited by vacuum evaporation, whereby with increasing tempering temperature spin-coating prepared layers the difference in refractive index decreases. Method of Raman spectroscopy showed that the structure of thin films deposited spin-coating method is very similar to the structure of the starting volume glass. conversely vacuum-evaporation of the formation of the distinct and highly disordered structure. Thermally-induced changes in surface topography spin-coating prepared layers They were observed by atomic force microscopy. With increasing temperature annealing occurs gradual wrinkling the surface and closing the pores. These changes can then be in extreme cases, a negative impact on the optical quality of the annealed thin film. thin films; spin coating