Publikace detail
Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical sensors
Autoři:
Baudet Emeline | Sergent M. | Němec Petr | Cardinaud C. | Rinnert E. | Michel K. | Jouany L. | Bureau B. | Nazabal Virginie
Rok:
2017
Druh publikace:
článek v odborném periodiku
Název zdroje:
Scientific Reports
Název nakladatele:
Nature Publishing Group
Místo vydání:
London
Strana od-do:
"3500-1"-"3500-14"