Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation
Rok: 2018
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Materials Chemistry and Physics
Název nakladatele: Elsevier Science SA
Místo vydání: Lausanne
Strana od-do: 310-318
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Optické vlastnosti a strukturování povrchu tenkých amorfních chalkogenidových vrstev Ge20Sb5S75 deponovaných metodami spin-coatingu a vakuového napařování Tenké amorfní vrstvy složení Ge20Sb5S75 byly deponovány spin-coatingem a vakuovým napařováním. Jejich optické vlastnosti byly zkoumány metodami spektroskopické elipsometrie v UV-NIR spektru. Tato práce je zaměřena na porovnání tepelně a fotoindukovaných změn optických vlastností, struktury a chemické odolnosti studovaných vrstev. Indukované změny struktury vrstev spojené se změnami jejich chemické stability byly využity pro povrchové strukturování pomocí fotolitografie a elektronové litografie. tenké vrstvy chalkogenidových skel; spin-coating; vakuové napařování; elektronová litografie; fotolitografie
eng Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation Thin amorphous films of Ge20Sb5S75 composition have been deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation techniques. Their optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry in UV-NIR spectral region. We report on the comparison of thermo- and photo-induced changes in optical parameters, structure and chemical resistance of studied samples. Induced changes of films structure connected with changes of chemical stability were exploited for their surface structuring by photolithography and electron beam lithography. Chalcogenide glass thin film; Spin-coating; Thermal evaporation; Electron beam lithography; Photolithography

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte

© 2023 Univerzita Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Telefon: 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Správce webu, RSS
ID datové schránky: f5vj9hu
Prohlášení o přístupnosti
Drupal web od drupal web Drupal ᐬrts