Publikace detail
Comparison of optical and chemical properties of thermally evaporated and spin-coated chalcogenide As-S thin films targeting electron beam lithography applications
Autoři:
Pálka Karel | Jančálek Jiří | Šlang Stanislav | Grinco Marina | Vlček Miroslav
Rok: 2019
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Journal of Non-Crystalline Solids
Název nakladatele: Elsevier Science BV
Místo vydání: Amsterdam
Strana od-do: 7-14