Publikace detail
Influence of post-annealing on structural, optical and electrical properties of tin nitride thin films prepared by atomic layer deposition
Autoři:
Ansari Mohd Zahid | Janíček Petr | Nandi Dip K | Pálka Karel | Šlang Stanislav | Kim Deok Hyun | Cheon Taehoon | Kim Soo-Hyun
Rok: 2021
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Applied Surface Science
Název nakladatele: Elsevier Science BV
Místo vydání: Amsterdam
Strana od-do: 147920