Publikace detail
New class of Zr precursor containing boratabenzene ligand enabling highly conformal wafer-scale zirconium dioxide thin films through atomic layer deposition
Autoři:
Ansari Mohd Zahid | Janíček Petr | Namgung Sook | Kim Hyangil | Nandi Dip K | Cheon Taehoon | Siddiqui Masoom Raza | Imran Muhammad | Jang Yujin | Bae Jong-Seong | Hong Tae Eun | Park Chaehyun | Son Yeseul | Kim Sang Bok | Kim Soo-Hyun
Rok: 2024
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Surfaces and Interfaces
Název nakladatele: Elsevier Science BV
Místo vydání: Amsterdam
Strana od-do: 104014